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腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

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更新日期:2025-05-02

簡要描述:

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導體設備的生產線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內表面吸附并 和少量的水分反應,形成腐蝕生成物。

腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器
類型數字壓力表

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

半導體設備的生產線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內表面吸附并 和少量的水分反應,形成腐蝕生成物。這種物質是產生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

  • 高耐腐蝕性
    對應HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體,氣體接觸部分采用遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®,并進行了電解研磨處理,充分發揮了其 出色的耐腐蝕性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直線性、滯后性、重復精度的影響造成和優擬合線的偏差為±0.25%,具備高精度和高可靠性。
  • 測定范圍寬
    表壓的壓力范圍從0~172.4KPA(1.76KGf/cm2)到20,684KPa(210KGf/cm2),壓的壓力范圍為0~2,586torr。
  • 使用壽命長
    各測量范圍都通過了100萬次的循環耐久測試。

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

規格

 

型號 表壓※
PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
壓力范圍KPa0~172.40~344.70~689.50~1,378.90~3,447.30~20,6840~103.40~172.40~344.7
kgf/cm20~1.760~3.520~7.030~14.060~35.160~210.9---
torr------0~7760~1,2930~2,586
精度(% 全量程)±0.5%±0.25%±0.5%

 

※所有的表壓類型可以連成。

 

過載壓力全量程×2
激勵電源電壓DC 5V(MAX 6V)
保存溫度范圍-20℃~93℃(未通電)
溫度補償范圍-1℃~71℃
溫度漂移±0.05% FS/℃
信號輸出100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V)
跨度100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV
偏移量0mV ± 10mV
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec
氣體(液體)接觸部分哈司特鎳合金®
連接零件1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它

 

 

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